サムコ、ＭＯ―ＣＶＤ装置市場に１５年ぶり再参入−省エネ型の量産対応機

　【京都】サムコは窒化ガリウム膜形成用ＭＯ―ＣＶＤ（有機金属気相成長）装置「ＭＣＶ―２０１８」を２０日に発売し、同装置市場へ１５年ぶりに再参入する。ガス注入方法を工夫しサセプター（台座）の均熱性を１０００度Ｃプラスマイナス５度Ｃ以内とし、他社従来品より安定した結晶成長が行える。価格は１億６８００万円。３年後に年間約３０台の販売を見込む。

　新製品は１度に２インチウエハーで１８枚、３インチウエハーで８枚を同時成膜する量産対応機。常圧（大気圧）成膜ではなく減圧成膜を採用、ガス消費量を３分の１に減らすなど省エネルギー設計にした。サイズは４４００ミリ×１３００ミリ×２０００ミリメートル。設置面積を他社従来品に比べ２―３割小さくした。